Электрополевая дефектоскопия полупроводниковых фотопреобразователей в режиме бесконтактного сканирования (2019)
Выпуск:
№4 (2019)
Продемонстрирована возможность дефектоскопии фотоэлектрических преобразователей (ФЭП) на основе монокристаллического кремния путем их бесконтактной (дистантной) электрополевой визуализации на рентгеновской фотопленке Retina. С помощью специально разработанного устройства для ее реализации диагностирован технологический дефект, возникший на поверхности заготовки кремния при его подготовке к диффузионному легированию и маскированный различными покрытиями на последующих стадиях изготовления ФЭП.