ISSN 1996-0948 · EISSN 2949-561X
Языки: ru · en

Статья: Формирование металлодиэлектрических структур с нанометровыми проводящими пленками и исследование их нагрева при воздействии СВЧ-полей (2022)

Читать онлайн

Приведены результаты экспериментальных исследований и анализ динамики нагрева металлодиэлектрических структур с алюминиевыми проводящими пленками, осажденными методом магнетронного распыления на подложки из стекла, при воздействии мощных СВЧ-полей. Результаты моделирования механизма формирования неоднородной структуры металлизации и возникновения проводимости при росте плёнки подтвердили наблюдаемый температурный экстремум. Полученный максимум нагрева напылённых металлизированных покрытий обусловлен максимальным поглощением электромагнитной волны на усредненных толщинах 5  1 нм, что связано со структурой формирующейся плёнки и соответствующим ей механизмом проводимости.

The paper presents the results of experimental studies and analysis of the heating dynamics of metal-dielectric structures with aluminum conducting films deposited by magnetron sputtering on glass substrates exposed to powerful microwave fields. The results of modeling the mecha-nism of formation of inhomogeneous metallization structure and the appearance of conductivity in growing film confirmed the observed temperature extremum. That extremum is due to a maximum absorption of electromagnetic waves at approximate thickness of 5 nm, which is as-sociated with the structure of the growing film and its corresponding mechanism of conductivity.

Ключевые фразы: металлодиэлектрическая структура, нанометровые проводящие пленки, СВЧ-воздействие, электромагнитный нагрев, metal-dielectric structure, nanometer conducting films, microwave, electromagnetic heating
Автор (ы): Григорьев Е. В.
Соавтор (ы): Арсеничев Сергей Павлович, Старосек Александр Викторович, Фитаев Ибраим Шевкетович, Болдырев Николай Алексеевич
Журнал: Прикладная физика

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
537.874. Явления, возникающие при распространении электромагнитных волн
Префикс DOI
10.51368/1996-0948-2022-4-64-69
eLIBRARY ID
49424563
Для цитирования:
ГРИГОРЬЕВ Е. В., АРСЕНИЧЕВ С. П., СТАРОСЕК А. В., ФИТАЕВ И. Ш., БОЛДЫРЕВ Н. А. ФОРМИРОВАНИЕ МЕТАЛЛОДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ СТРУКТУР С НАНОМЕТРОВЫМИ ПРОВОДЯЩИМИ ПЛЕНКАМИ И ИССЛЕДОВАНИЕ ИХ НАГРЕВА ПРИ ВОЗДЕЙСТВИИ СВЧ-ПОЛЕЙ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2022. № 4
Текстовый фрагмент статьи