Статья: Особенности проектирования высокоточных производств в условиях сложившейся городской застройки (2024)

Читать онлайн

В статье рассматриваются основополагающие принципы проектирования и критерии размещения высокоточных производств, предназначенных для выпуска микроэлектронных компонентов и исследования структур микронного и субмикронного уровней. Основное внимание в статье уделено защите от вибрации естественного и техногенного происхождения, присутствующей практически в любом месте строительства. Основная цель минимизации вибраций – не допускать возникновения колебаний, способных искажать измерительные данные и нарушать работу высокоточного оборудования, такого как электронные микроскопы, литографические установки и системы нанометрового контроля. При размещении высокоточного оборудования последнего поколения устанавливают предельно допустимые уровни виброскорости от 3 мкм/с до 0,5 мкм/с или меньше в зависимости от его точности и целей исследований. Вибрации, передаваемые через конструкции здания, должны быть минимизированы путём применения изолированных фундаментов, использования виброизолирующих материалов и систем активной виброизоляции.

Ключевые фразы: вибрация, ВИБРОИЗОЛЯЦИЯ, высокоточное оборудование, микроскопы, литография, микроэлектроника, производство
Автор (ы): Смирнов Владимир Александрович
Журнал: ACADEMIA. АРХИТЕКТУРА И СТРОИТЕЛЬСТВО

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

УДК
624.042.7. Нагрузки вследствие сдвигов и сотрясений грунта. Подземные толчки (сейсмические воздействия)
Для цитирования:
СМИРНОВ В. А. ОСОБЕННОСТИ ПРОЕКТИРОВАНИЯ ВЫСОКОТОЧНЫХ ПРОИЗВОДСТВ В УСЛОВИЯХ СЛОЖИВШЕЙСЯ ГОРОДСКОЙ ЗАСТРОЙКИ // ACADEMIA. АРХИТЕКТУРА И СТРОИТЕЛЬСТВО. 2024. № 4
Текстовый фрагмент статьи