ISSN 1996-0948 · EISSN 2949-561X
Языки: ru · en

Статья: Характеристики МОП-конденсаторов, сформированных осаждением слоев диэлектрика ZrO2:Y2O3 на гетероструктурах Ge/Si(001), выращенных методом HW CVD (2024)

Читать онлайн

Исследованы вольт-амперные характеристики (ВАХ) и вольт-фарадные характеристики (ВФХ) МОП-конденсаторов, сформированные последовательным осаждением тонких слоев затворного диэлектрика ZrO2:Y2O3 и Ti-Pd-Au затворного электрода на гетероэпитаксиальных структурах Ge/Si(001), выращенные низкотемпературным (Ts = 350 C)
методом газофазного осаждения с пиролизом моногермана на «горячей нити» (англ. HotWireChemicalVaporDeposition (HWCVD)). Высокое структурное совершенство гетероструктур Ge/Si(001) (плотность дислокаций, отождествленная с плотностью ямок
травления, составляла 1105 см-2), и высокая гладкость поверхности слоя Ge(rms = 0,37 нм) давали предпосылку для последующего формирования МОП-конденсаторов с высокими электрическими параметрами. Использование тонких слоев ZrO2:Y2O3 c 4-х
процентным содержанием Y2O3 и прошедших дополнительный отжиг, позволяет снизить токи утечки до 510-5 А/см2 при V = -1 В. Плотность поверхностных состояний на границе диэлектрик-полупроводник, определенная из ВФХ МОП-конденсатора, составля-
ла 41012 см-2эВ-1, что открывает перспективы для использования таких гетероструктур при изготовлении МДП-транзисторов.

Автор (ы): Титова Анастасия Михайловна
Соавтор (ы): Алябина Наталья Алексеевна, Денисов Сергей Александрович, Чалков Вадим Юрьевич, Шенгуров Владимир Геннадьевич, Нежданов Алексей Владимирович, Здоровейшев Антон Владимирович, Архипова Екатерина Александровна, Бузынин Юрий Николаевич
Журнал: Прикладная физика

Идентификаторы и классификаторы

УДК
537.533.3. Электронная оптика
Для цитирования:
ТИТОВА А. М., АЛЯБИНА Н. А., ДЕНИСОВ С. А., ЧАЛКОВ В. Ю., ШЕНГУРОВ В. Г., НЕЖДАНОВ А. В., ЗДОРОВЕЙШЕВ А. В., АРХИПОВА Е. А., БУЗЫНИН Ю. Н. ХАРАКТЕРИСТИКИ МОП-КОНДЕНСАТОРОВ, СФОРМИРОВАННЫХ ОСАЖДЕНИЕМ СЛОЕВ ДИЭЛЕКТРИКА ZRO2:Y2O3 НА ГЕТЕРОСТРУКТУРАХ GE/SI(001), ВЫРАЩЕННЫХ МЕТОДОМ HW CVD // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2024. № 1