ISSN 1996-0948 · EISSN 2949-561X
Языки: ru · en

Статья: Исследование возможности применения нейронных сетей при определении дефектов полупроводниковых материалов по изображениям растровой электронной микроскопии (2024)

Читать онлайн

Исследование посвящено разработке способа обнаружения дефектов в полупроводниковом производстве с помощью нейронных сетей по изображениям , полученным при помощи растрового электронного микроскопа. Проведено исследование метода, позволяющего сократить время обработки полученных изображений при поиске дефектов.

The research is devoted to the development of a method for detecting defects in semiconduc-tor manufacturing using neural networks in images obtained using a scanning electron mi-croscope. A study has been conducted on a method that allows to reduce the processing time of the obtained images when searching for defects.

Ключевые фразы: нейронные сети, растровая электронная микроскопия, полупроводниковое производство, дефекты.
Автор (ы): Малыгин Владислав Анатольевич
Соавтор (ы): Попов Виктор, Баженов Константин Эдуардович, Засядко Татьяна Алексеевна
Журнал: Прикладная физика

Идентификаторы и классификаторы

УДК
621.315.592. Полупроводники
Префикс DOI
10.51368/1996-0948-2024-2-62-66
Для цитирования:
МАЛЫГИН В. А., ПОПОВ В., БАЖЕНОВ К. Э., ЗАСЯДКО Т. А. ИССЛЕДОВАНИЕ ВОЗМОЖНОСТИ ПРИМЕНЕНИЯ НЕЙРОННЫХ СЕТЕЙ ПРИ ОПРЕДЕЛЕНИИ ДЕФЕКТОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ ПО ИЗОБРАЖЕНИЯМ РАСТРОВОЙ ЭЛЕКТРОННОЙ МИКРОСКОПИИ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2024. № 2