Статья: Численный анализ спектров рентгеновского дифракционного отражения от сверхрешеток на основе гетеропары AlGaAs/GaAs в зависимости от структурных параметров (2019)

Читать онлайн

Изучены свойства спектров рентгеновского дифракционного отражения многослойных периодических гетероструктур AlGaAs/GaAs в зависимости от толщины и состава материала слоев и количества периодов. Показано, что количество и интенсивность дополнительных дифракционных максимумов на кривых качания возрастает с увеличением толщины слоев и количества периодов. Состав слоев не влияет на количество максимумов, а изменяет их угловое положение и полуширину. Проводилось сравнение численных расчетов с экспериментальными спектрами, измеренными для гетероструктуры, выращенной методом молекулярнопучковой эпитаксии и состоящей из 50 периодов, в которых барьер AlxGa1-xAs имел состав x  26,7 % и толщину d  51,6 нм, а квантовая яма GaAs – толщину d  4,6 нм. Установлено хорошее соответствие рассчитанных параметров с технологическими данными и результатами измерения на просвечивающем электронном микроскопе.

Properties of X-ray diffraction spectra of multilayer periodical heterostructures AlGaAs/GaAs have been studied in dependence of layers’ thickness and composition and the number of periods. It is shown that the number and intensity of additional diffraction maxima (satellites) on rocking curves increases together with increasing layers’ thickness and the number of periods. The composition of layers doesn’t affect the number of maxima but leads to changing their angular positions and the full width at half maximum values. Numerical calculations have been compared to experimental spectra observed on the heterostructure grown by means of molecular beam epitaxy consisting of 50 periods of AlxGa1-xAs with the composition x  26.7 % and the thickness d  51.6 nm and GaAs with the thickness d  4.6 nm. Good conformity between the calculated values and the technological parameters and experimental studies by means of transmission electron microscopy has been established.

Ключевые фразы: рентгеновская дифрактометрия, сверхрешетки, многослойная структура, матрица переноса, кривые качания, твердый раствор algaas
Автор (ы): Ильинов Денис Владимирович, Шабрин Алексей Дмитриевич, Гончаров Андрей Евгеньевич, Пашкеев Дмитрий Александрович
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
621.382.2/.3. Электрические полупроводниковые приборы
eLIBRARY ID
37027101
Для цитирования:
ИЛЬИНОВ Д. В., ШАБРИН А. Д., ГОНЧАРОВ А. Е., ПАШКЕЕВ Д. А. ЧИСЛЕННЫЙ АНАЛИЗ СПЕКТРОВ РЕНТГЕНОВСКОГО ДИФРАКЦИОННОГО ОТРАЖЕНИЯ ОТ СВЕРХРЕШЕТОК НА ОСНОВЕ ГЕТЕРОПАРЫ ALGAAS/GAAS В ЗАВИСИМОСТИ ОТ СТРУКТУРНЫХ ПАРАМЕТРОВ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2019. №1
Текстовый фрагмент статьи