Статья: Молекулярно-динамическое моделирование распыления молибдена пучком газовых кластерных ионов аргона (2019)

Читать онлайн

В работе представлены результаты моделирования распыления твёрдого тела пучком газовых кластерных ионов методом молекулярной динамики. Монокристалл Mo бомбардируется кластерными ионами Ar с энергией 10 кэВ и размером от 50 до 2000 атомов при комнатной температуре. Угол падения совпадает с нормалью к поверхности (100) мишени. Проведено две серии моделирования с различными параметрами. В первой из них каждый ион кластера попадает в идеальную поверхность кристалла. Во второй серии моделируется последовательность соударений с учетом эволюции поверхности в результате бомбардировки и экспериментально измеренного распределения размеров кластера. Рассчитаны угловые распределения распыленных атомов для 1000 независимых столкновений и 2000 последовательных столкновений. Показано, что шероховатость поверхности в случае последовательных соударений оказывает влияние на форму угловых распределений. Показаны преимущества использования моделирования последовательности соударений.

Molecular dynamics simulation of gas cluster ion beam interaction with solid is presented inthis paper. The projectile is an Ar cluster ion with the energy of 10 keV and the size from 50 to 2000 atoms. The target is a Mo single crystal at room temperature. The incident direction is normal to the lattice (100) surface. Two series of simulation with different paramateres were performed. In the first series each cluster ion impacts the virgin crystal surface. In the second series the sequence of cluster impacts is simulated, taking into account the surface evolution due to the bombardment and the experimentally measured cluster size distribution. PARCAS molecular dynamics code was used for the simulations. Angular distributions of sputtered atoms were calculated for 1000 independent collisions and 2000 consequent collisions. It is shown that the surface roughness in the second approach influences the shape of the angular distributions. The benefits of using sequence simulation are shown.

Ключевые фразы: кластерные ионы, РАСПЫЛЕНИЕ, угловое распределение, молекулярная динамика
Автор (ы): Назаров Антон Викторович, Завильгельский Андрей Дмитриевич
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
539.534.9. Действие пучков ионов
eLIBRARY ID
41252121
Для цитирования:
НАЗАРОВ А. В., ЗАВИЛЬГЕЛЬСКИЙ А. Д. МОЛЕКУЛЯРНО-ДИНАМИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ РАСПЫЛЕНИЯ МОЛИБДЕНА ПУЧКОМ ГАЗОВЫХ КЛАСТЕРНЫХ ИОНОВ АРГОНА // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2019. №5
Текстовый фрагмент статьи