Статья: О возможности оценки коэффициента вторично-электронной эмиссии металлов и диэлектриков в среднем вакууме (2019)

Читать онлайн

Предложена оригинальная методика оценки коэффициента вторичной электронной эмиссии металлических и диэлектрических мишеней в области давлений в единицы и десятки паскаль. Методика основана на измерении потенциала мишени в зависимости от тока электронного пучка и сопоставлении результатов измерений с расчетными значениями, полученными с использованием модели, основанной на уравнениях баланса заряда на мишени и баланса ионов в пучковой плазме.

An original technique is proposed for estimating the coefficient of secondary electron emission of metal and dielectric targets in the pressure range of units and tens of Pascal. The technique is based on measuring the target potential as a function of the electron beam current and comparing the measurement results with the calculated values obtained using the model based on the equations of the charge balance on the target and the balance of ions in the beam plasma.

Ключевые фразы: форвакуум, ЭЛЕКТРОННЫЙ ПУЧОК, пучковая плазма, слой пространственного заряда, потенциал изолированной мишени, вторичная электронная эмиссия
Автор (ы): Бурдовицин Виктор, Золотухин Денис Борисович, Карпов Кирилл Игоревич, Окс Ефим
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
537.533.9. Действие пучков электронов
537.563. Способы ионизации газов
eLIBRARY ID
41716443
Для цитирования:
БУРДОВИЦИН В., ЗОЛОТУХИН Д. Б., КАРПОВ К. И., ОКС Е. О ВОЗМОЖНОСТИ ОЦЕНКИ КОЭФФИЦИЕНТА ВТОРИЧНО-ЭЛЕКТРОННОЙ ЭМИССИИ МЕТАЛЛОВ И ДИЭЛЕКТРИКОВ В СРЕДНЕМ ВАКУУМЕ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2019. №6
Текстовый фрагмент статьи