Разработана конструкция и изготовлены матричные ФЧЭ форматом 384288 элементов с шагом 25 мкм с длинноволновой границей чувствительности по уровню 0,5 около 9,5 мкм. Средняя величина R0А фотодиодов по всему массиву матрицы равна 100 Ом см2. Разработаны схема и топология, по которым изготовлены матричные высокоскоростные мультиплексоры форматом 384288 элементов с шагом 25 мкм, обеспечивающие рабочие режимы на тактовой частоте до 20 МГц. Методом гибридной сборки на индиевых столбах изготовлено матричное ФПУ форматом 384288 элементов с шагом 25 мкм с параметрами: средняя величина NETD < 30 мК, количество работоспособных элементов > 97 %. Использование мезатравления для разделения отдельных фотодиодов снижает фотоэлектрическую связь и обеспечивает высокое пространственное разрешение матричного ФПУ, равное 11,25 штр/мм. Представлены примеры использования системы микросканирования для снижения дефектных пикселов в кадре изображения и/или увеличения формата кадров до 768576. Показано, что в результате использования микросканирования в тепловизионном канале на основе разработанного ФПУ при переходе к формату 768576 получено улучшение пространственного разрешения в 1,4 раза при одинаковой величине минимально разрешаемой разности температур (МРРТ), а МРРТ на частоте 0,44 мрад-1 уменьшается с 1,6 К до 0,9 К по сравнению с исходным форматом 384×288.
The 384×288 FPAs with 25 μm pitch and 9.5 μm cut-off wavelength were designed and fabricated. The mean R0А value across the whole array is 100 Ohm cm2. The circuit and topology were designed and high-speed 384×288 multiplexers with 25 μm pitch were fabricated, providing the operating mode on the clock frequency up to 20 MHz. By means of indium bumps hybrid assembly the 384×288 photodetector was fabricated with following parameters: mean NETD value <30 mK, the functional elements percent >97 %. The paper provides examples of micro-scanning system use for reduction of amount of defect pixels in the image frame and/or photodetector format upgrade to 768×576 elements. It is shown that use of the micro-scanning in the IR channel based on the designed photodetector at upgrading to the 768×576 format leads to the improvement of the space resolution by ratio 1.4 at the same value of minimal resolvable temperature difference (MRTD).
Предпросмотр статьи
Идентификаторы и классификаторы
- SCI
- Физика
- eLIBRARY ID
- 6213834