Статья: Особенности микро- и наноразмерных дефектов в кристаллах 4H-карбида кремния, выращенных методом высокотемпературной сублимации (2018)

Читать онлайн

В процессе роста монокристаллов карбида кремния формируется развитая система различного рода дефектов, негативно влияющих на свойства полупроводникового материала. В кристаллах 4H-SiC, полученных на оборудовании компании PVA TePla (Германия), обнаружены характерные для микроразмерных дефектов статистически самоподобные поверхности раздела «поры-твердое тело» с фрактальными размерностями 2,20–2,60. Рентгеновское малоугловое рассеяние позволило зафиксировать структурные неоднородности в виде пор и их кластеров наномасштабного уровня. Построены функции распределения частиц по радиусам инерции и показано, что основная доля пор приходится на маломасштабные образования с радиусами инерции 25–30 Å. Поры и их кластеры формируют изогнутые цепочки с фрактальными размерностями 1,26–1,84. Структурные неоднородности масштаба 40–110 Å рассеивают рентгеновское излучение как шероховатые поверхности с фрактальными размерностями 2,31–2,95.

In the process of growth of silicon carbide single crystals, a developed system of various kinds of defects that negatively affects the properties of a semiconductor material is formed. In the 4H-SiC crystal obtained on the equipment of the company PVA TePla (Germany), statistically self-similar pore-solid interfaces with fractal dimensions of 2.20–2.60 were found characteristic for microdefinite defects. X-ray small-angle scattering made it possible to fix structural inhomogeneities in the form of pores and their clusters of the nanoscale level. The distribution functions of the particles along the radii of inertia are constructed and it is shown that the main share of pores falls on small-scale formations with radii of inertia of 25–30 Å. The pores and their clusters form curved chains with fractal dimensions of 1.26–1.84. Structural inhomogeneities of scale 40–110 Å scatter X-ray radiation as rough surfaces with fractal dimensions of 2.31–2.95.

Ключевые фразы: карбид кремния, структурные неоднородности, радиус инерции, фрактальная размерность
Автор (ы): Неверов Вячеслав Александрович
Журнал: УСПЕХИ ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИ

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
538.971. Физика поверхностей и границ раздела (включая эмиссию и столкновение)
eLIBRARY ID
35723999
Для цитирования:
НЕВЕРОВ В. А. ОСОБЕННОСТИ МИКРО- И НАНОРАЗМЕРНЫХ ДЕФЕКТОВ В КРИСТАЛЛАХ 4H-КАРБИДА КРЕМНИЯ, ВЫРАЩЕННЫХ МЕТОДОМ ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНОЙ СУБЛИМАЦИИ // УСПЕХИ ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИ. 2018. ТОМ 6, №4
Текстовый фрагмент статьи