ISSN 0579-9392
Язык: ru

Статья: ДИНАМИКА ПЛАЗМЫ ДВУХЧАСТОТНОГО ЕМКОСТНОГО РАЗРЯДА В СМЕСИ AR/XE (2024)

Читать онлайн

Исследована пространственно-временная динамика плазмы симметричного двухчастотного 81 МГц/1.76 МГц емкостного разряда под действием поля низкой частоты 1.76 МГц. С помощью метода фазово-разрешенной оптической эмиссионной спектроскопии получена динамика интенсивности излучения аргона и ксенона в плазме. Выполнены измерения функции распределения электронов по энергии в центре разряда с помощью зонда Ленгмюра и измерения плотности электронов с помощью СВЧ-зонда. Основным результатом является динамика отношений интенсивности выделенных линий аргона и ксенона в зависимости от разных условий: при давлениях 40, 200 и 400 мТорр, амплитуде напряжения НЧ 100, 200 и 400 В, вложенной мощности на 81 МГц 3 Вт и 15 Вт. Исследована динамика высокоэнергичных электронов на основе двухтемпературной аппроксимации функции распределения электронов по энергии.


Ключевые фразы: плазма, ЕМКОСТНЫЙ РАЗРЯД, СПЕКТРОСКОПИЯ, ЗОНД ЛЕНГМЮРА, СВЧ-ЗОНД
Автор (ы): БОГДАНОВА МАРИЯ АЛЕКСАНДРОВНА, ВОЛОШИН ДМИТРИЙ ГРИГОРЬЕВИЧ, ГЛОТОВ АНТОН ВАЛЕРЬЕВИЧ, ЛОПАЕВ ДМИТРИЙ ВИКТОРОВИЧ, СЫСОЕВ НИКОЛАЙ НИКОЛАЕВИЧ, ШИБАНОВ ДАНИИЛ РОМАНОВИЧ
Журнал: ВЕСТНИК МОСКОВСКОГО УНИВЕРСИТЕТА. СЕРИЯ 3: ФИЗИКА. АСТРОНОМИЯ

Идентификаторы и классификаторы

УДК
533.9.07. Установки и аппаратура для изучения и создания плазмы
Для цитирования:
БОГДАНОВА М. А., ВОЛОШИН Д. Г., ГЛОТОВ А. В., ЛОПАЕВ Д. В., СЫСОЕВ Н. Н., ШИБАНОВ Д. Р. ДИНАМИКА ПЛАЗМЫ ДВУХЧАСТОТНОГО ЕМКОСТНОГО РАЗРЯДА В СМЕСИ AR/XE // ВЕСТНИК МОСКОВСКОГО УНИВЕРСИТЕТА. СЕРИЯ 3: ФИЗИКА. АСТРОНОМИЯ. 2024. № 1
Текстовый фрагмент статьи