ISSN 1996-0948 · EISSN 2949-561X
Языки: ru · en

Статья: Трансформация криволинейных зон при их термомиграции через пластину кремния {100} (2024)

Читать онлайн

Экспериментально обнаружена трансформация кольцевой зоны на основе алюминия в
квадратную при термомиграции в кремнии в направлении <100>. Квадратная зона при
ТМ в пластине кремния проявляет синхронное сближение сторон квадрата и форми-
рует замкнутый эпитаксиальный канал пирамидальной формы. Такая трансформа-
ция объясняется асимметрией фронта растворения жидкой зоны относительно гра-
диента температуры. Асимметрия обусловлена огранкой внешнего контура и
подавлением огранки на внутреннем контуре растворения криволинейной зоны. Изгиб
линейной зоны приводит к отрицательной кривизне внутреннего контура растворе-
ния, на котором всегда присутствуют атомные ступени, препятствующие развитию
сингулярной плоскости огранки. Оценка отклонения ограненных участков криволи-
нейной зоны от градиента температуры сделана на основе силовой модели, учитыва-
ющей векторный характер сил сопротивления движению на фронте растворения зон

Ключевые фразы: кремний, термомиграция, криволинейные жидкие зоны.
Автор (ы): Середин Борис Михайлович
Соавтор (ы): Попов Виктор Павлович, Малибашев Александр Владимирович, Степченко Артем Дмитриевич, Гаврус Игорь Викторович
Журнал: Прикладная физика

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
621.315. Передача электрической энергии. Провода и кабели, используемые для передачи энергии и для связи. Проводники. Электроизоляционные материалы. Линейная арматура. Сооружение линий электропередачи
Префикс DOI
10.51368/1996-0948-2024-3-78-85
Для цитирования:
СЕРЕДИН Б. М., ПОПОВ В. П., МАЛИБАШЕВ А. В., СТЕПЧЕНКО А. Д., ГАВРУС И. В. ТРАНСФОРМАЦИЯ КРИВОЛИНЕЙНЫХ ЗОН ПРИ ИХ ТЕРМОМИГРАЦИИ ЧЕРЕЗ ПЛАСТИНУ КРЕМНИЯ {100} // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2024. № 3
Текстовый фрагмент статьи