Книга: Технология и конструирование интегральных микросхем

Скачать

Данное учебное пособие является одной из трех книг по микроэлектронике, в которой получили дальнейшее развитие такие разделы, как «Технологические основы микроэлектроники» и «Элементы интегральных микросхем». Здесь изложены также вопросы практической реализации интегральных микросхем (ИС) после их схемотехнического проектирования. В книге рассмотрены основные вопросы технологии и конструирования интегральных микросхем. Описаны процессы планарной технологии полупроводниковых ИС, технологические процессы производства пленочных ИС, методы проектирования элементной базы и конструирования ИС в целом, конструктивно-технологические особенности БИС. Книга предназначена для студентов радиотехнических и радиофизических специальностей вузов. Может быть полезна широкому кругу специалистов, занимающихся созданием интегральных микросхем и радиоэлектронной аппаратуры на их основе.