Книга: ФИЗИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ ТЕХНОЛОГИИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ И ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСХЕМ

Учебное пособие «Физические основы технологии полупроводниковых приборов и интегральных микросхем» охватывает разделы: рост кристаллов и подготовка подложек, окисление, диффузия, эпитаксия, литография, рост тонких пленок, общие закономерности технологии интегральных микросхем, сборка и контроль качества полупроводниковых

приборов и интегральных микросхем. Пособие разработано на основе курса лекций, читаемых в течение ряда лет на инженерно-физическом факультете высоких технологий.

Рекомендуется для студентов и инженерно-технических работников, специализирующихся в области микроэлектроники и физики полупроводников.