Препринт: Отчет о НИР по ТГЦ электровакуумным микроразмерным приборам МЭМС

Объектом исследования являются электродинамические и электронно-оптические системы
для приборов ТГц диапазона.
Целью работы является поиск оптимальных замедляющих систем (ЗС) ТГц диапазона для
приборов различного назначения: усилителей на лампах бегущей волны с выходной мощностью
до 10 Вт; задающих генераторов обратной волны с выходной мощностью до 200 мВт; ЛБВ и ЛОВ
мощностью до 1 мВт для логических микросхем.
В ходе выполнения НИР решены следующие основные задачи:
– Разработаны технологии ЗС типа «встречная гребенка», рассчитанных на работу в диапазоне
частот 200 ГГц.
– Разработаны технологии ЗС типа «меандр» на диэлектрической подложке из кварца,
расчитанных на работу в диапазоне 200 ГГц.
– Созданы опытные образцы ЗС и проведены теоретические исследования их
электродинамических характеристик: сопротивления связи и дисперсионных характеристик.
– Проведены теоретические исследования электродинамических систем на основе «фотонных
кристаллов».
– Созданы и исследованы экспериментальные образцы автоэмиссионных катодов на основе
углеродных нанотрубок для приборов этого типа