Архив статей журнала

Травление внутренней поверхности металлической трубки в разряде, поддерживаемым электронным пучком (2023)
Выпуск: № 6 (2023)
Авторы: Бурдовицин Виктор, Карпов Кирилл, Окс Ефим, Нгон А Кики Лионель Жоэль

Приведены экспериментальные результаты измерения скорости травления внутрен-ней стенки металлической трубки при наличии в трубке разряда, поддерживаемого инжектируемым электронным пучком. При токах разряда 50–200 мА скорость трав-ления повышается в интервале 10–30 нм/мин.

Сохранить в закладках