ISSN 2307-4469 · EISSN 2949-5636
Языки: ru · en

Статья: Электрофизические и газочувствительные свойства тонких плёнок In2O3–Ga2O3, полученных импульсным лазерным напылением (2019)

Читать онлайн

Методом импульсного лазерного напыления получены поликристаллические тонкие полупроводниковые плёнки смешанного состава In2O3–Ga2O3 с различным соотношением компонент. Исследованы морфология поверхности, электрофизические и газочувствительные свойства полученных плёнок. По температурным зависимостям сопротивления данных плёнок определены энергии активации их проводимости. Исследованы температурные зависимости отклика сопротивления плёнок на ацетон, этанол, аммиак и смесь пропан-бутан. Объяснено наличие на температурных зависимостях газового отклика сопротивления плёнок в диапазоне температур 300–500 оC участка со значениями меньше единицы в случае наличия в газовой фазе аммиака. По температурным зависимостям отклика сопротивления плёнок определены энергии активации отклика в низкотемпературной и высокотемпературной областях. Изучены зависимости отклика сопротивления плёнок от концентрации исследуемых газов. Установлено, что в качестве перспективного материала чувствительных слоев газовых сенсоров могут рассматриваться плёнки состава 50%In2O3–50%Ga2O3.

Mixed oxide In2O3–Ga2O3 polycrystalline thin films with various ratio of components were prepared by pulsed laser deposition. Investigations of surface morphology, electrophysical and gas sensing properties conducted. Energies of conductivity activation were calculated from temperature dependence of conductivity. Region of anomalous negative response was found on temperature dependence of gas response on ammonia for some films. Energies of adsorption/desorption activation were calculated from temperature dependence of gas response. Assumption of formation of some adsorption-promoting centers in 50%In2O3–50%Ga2O3 films was made. In2O3–Ga2O3 films were assumed to have perspectives of application as gas sensing material for semiconducting gas sensors.

Ключевые фразы: полупроводниковые газовые датчики, оксиды переходных металлов, оксид галлия, оксид индия, тонкие плёнки, semiconductor gas sensors, transition metal oxides, gallium oxide, indium oxide, thin films
Автор (ы): Дёмин Иван Евгеньевич
Соавтор (ы): Козлов Александр Геннадьевич
Журнал: Успехи прикладной физики

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
681.586.72. Полупроводниковые датчики
eLIBRARY ID
38564819
Для цитирования:
ДЁМИН И. Е., КОЗЛОВ А. Г. ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ И ГАЗОЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ СВОЙСТВА ТОНКИХ ПЛЁНОК IN2O3–GA2O3, ПОЛУЧЕННЫХ ИМПУЛЬСНЫМ ЛАЗЕРНЫМ НАПЫЛЕНИЕМ // УСПЕХИ ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИ. 2019. ТОМ 7 № 3
Текстовый фрагмент статьи