ISSN 1996-0948 · EISSN 2949-561X
Языки: ru · en

Статья: Расчет коэффициентов распыления оксидных пленок с поверхности однородного материала ионами гелия средних энергий (2021)

Читать онлайн

Представлена аналитическая модель распыления двухкомпонентных слоистых неоднородных мишеней бомбардировкой легкими ионами. Получена аналитическая формула, позволяющая рассчитать полный и парциальный коэффициенты распыления бинарного слоя неоднородности мишени легкими ионами. Результаты расчетов хорошо согласуются с данными компьютерного моделирования.

The paper presents an analytical model for sputtering two-component layered inhomogeneous targets by bombardment with light ions. An analytical formula is obtained that makes it possible to calculate the total and partial sputtering yields of a binary layer of target inhomogeneity by light ions. The obtained formula is used to calculate the sputtering yields of oxide layers from the surface of a homogeneous substrate. The calculation results are in good agreement with the computer simulation data.

Ключевые фразы: РАСПЫЛЕНИЕ, ИОННАЯ БОМБАРДИРОВКА, многокомпонентные материалы, слоисто-неоднородные поверхности, модифицированная поверхность, парциальный коэффициент распыления, легкие ионы, sputtering, ion bombardment, layered surface, sputtering yield, multi-component materials, partial sputtering yield, light ions
Автор (ы): Манухин Владимир Владимирович
Журнал: Прикладная физика

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
538.93. Явления переноса (кроме переноса в квантовых жидкостях и твердых телах)
Префикс DOI
10.51368/1996-0948-2021-4-59-64
eLIBRARY ID
46613382
Для цитирования:
МАНУХИН В. В. РАСЧЕТ КОЭФФИЦИЕНТОВ РАСПЫЛЕНИЯ ОКСИДНЫХ ПЛЕНОК С ПОВЕРХНОСТИ ОДНОРОДНОГО МАТЕРИАЛА ИОНАМИ ГЕЛИЯ СРЕДНИХ ЭНЕРГИЙ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2021. № 4
Текстовый фрагмент статьи