ISSN 1996-0948 · EISSN 2949-561X
Языки: ru · en

Статья: Прецизионное полирование обратной стороны пластин Si диаметром 100 мм с изготовленными на них оптоэлектронными фоточувствительными элементами (2024)

Читать онлайн

Приведено исследование перспективного метода прецизионной обработки пластин монокристаллического кремния, который помогает решить проблему дефектообразования при создании контактного слоя Cr-Au ввиду недостаточно малой шероховатости поверхности.

Автор (ы): Трофимов Александр
Журнал: Прикладная физика

Идентификаторы и классификаторы

УДК
621.315.592. Полупроводники
Для цитирования:
ТРОФИМОВ А. ПРЕЦИЗИОННОЕ ПОЛИРОВАНИЕ ОБРАТНОЙ СТОРОНЫ ПЛАСТИН SI ДИАМЕТРОМ 100 ММ С ИЗГОТОВЛЕННЫМИ НА НИХ ОПТОЭЛЕКТРОННЫМИ ФОТОЧУВСТВИТЕЛЬНЫМИ ЭЛЕМЕНТАМИ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2024. № 4