ISSN 2307-4469 · EISSN 2949-5636
Языки: ru · en

Статья: Интеграция полевого транзистора с управляющим p–n-переходом в биполярный технологический процесс. Объемный кремний (2024)

Читать онлайн

Рассмотрены варианты конструктивного исполнения n-канального полевого транзистора с управляющим p–n-переходом, интегрируемого в высоковольтный комплементарный биполярный технологический процесс с изоляцией обратносмещенным p–n-переходом. Сформулированы критерии отбора моделей транзисторов по электрическим параметрам. С учетом критериев проведено приборно-технологическое моделирование на подложках объемного кремния. На основе полученных результатов проведен сравнительный анализ nканального и ранее разрабо-танного р-канального полевых транзисторов. Для оценки адекватности модели транзистора проведен ряд измерений статических параметров экспериментальных образцов, в т. ч. в экстремальном диапазоне температур, изготовленных по рассчитанному технологическому маршруту. На основе полученных данных выбран наиболее оптимальный вариант по соотношению статических и динамических параметров.

Автор (ы): Дюканов Павел Алексеевич
Журнал: Успехи прикладной физики

Идентификаторы и классификаторы

УДК
621.382.3. Полупроводниковые триоды (транзисторы)
Для цитирования:
ДЮКАНОВ П. А. ИНТЕГРАЦИЯ ПОЛЕВОГО ТРАНЗИСТОРА С УПРАВЛЯЮЩИМ P–N-ПЕРЕХОДОМ В БИПОЛЯРНЫЙ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ПРОЦЕСС. ОБЪЕМНЫЙ КРЕМНИЙ // УСПЕХИ ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИ. 2024. ТОМ 12 № 4