Приведены результаты экспериментальных исследований по получению высокоапертурных заготовок кварцевых волоконных световодов с повышенным содержанием фтора (до 7 вес. %) и утолщенной оболочкой на основе кварцевого стекла, легированного фтором, при помощи неизотермической плазмы резонансного локального СВЧразряда (PCVD-метод). Достигнуты высокие скорости осаждения слоев кварцевого стекла, легированного фтором (вплоть до 3 мкм/мин), и соотношения s/a (где s – диаметр заготовки, a – диаметр сердцевины) на уровне 1,3–1,4 и выше.
The results of experimental studies on the fabrication of high numerical quartz fiberoptic light guides preforms (with a high fluorine content (up to 7 wt. %) and a thickened cladding of quartz glass doped with fluorine) by nonisothermal plasma of resonance local microwave discharge (PCVD method) are given. It is shown that by using a nonisothermal plasma of resonance local microwave discharge at low pressure, it is possible to achieve high deposition rates of fluorine doped quartz glass layers (up to 3 μm/min) and the s/a ratio (where s – preform diameter, a – core diameter) at level 1.3–1.4 and higher. That discharge type, which provides an increased efficiency of a microwave plasma-chemical deposition process, was formed using the waveguide-resonator microwave plasmatron on the H10 wave. It should also be noted that in this case the process of fluorinated reflecting cladding deposition occurs at lower temperatures of the quartz support tube wall (1000–1100 oС) than in the case of a pure quartz glass deposition. The presence of cracks in the SiO2-F-film is not observed even at considerable thicknesses.
Предпросмотр статьи
Идентификаторы и классификаторы
- SCI
- Физика
- eLIBRARY ID
- 38570407
