Книга: Методы моделирования атомарных и радиационно-стимулированных процессов в пористом кремнии

В монографии представлены результаты исследований материала
электронной техники– пористого кремния, а также его модификации–
карбонизированного пористого кремния. Предложены методы
моделирования атомарных и радиационно-стимулированных процессов, а
также проведено сравнение экспериментальных и численных результатов.
Для исследования процессов кинетики фотолюминесценции пористого и
карбонизированного пористого кремния под действием электронного и
последующего лазерного облучения предложены модели, учитывающие
диффузию поверхностных молекулярных групп в порах и на поверхности
нанокристаллов. Для исследования процессов формирования
нанокристаллов карбида кремния предложены термодинамическая модель,
а также модифицированный метод Монте-Карло, в котором впервые
учитываются процессы объемной диффузии