В статье анализируется потенциал и выявляются ограничения достижения технологиче-ского суверенитета в сегменте электронного машиностроения на примере полупроводниковых литографических систем. Показано, что в условиях деглобализации рынка электронного машино-строения формируется несколько групп игроков, различающихся по целям и стратегиям дости-жения технологического суверенитета. Определено, что гонка технологий в сфере фотолито-графии, которая является основой для массового производства современной микроэлектроники, несмотря на перспективность дальнейших технологических усовершенствований, может столк-нуться с ограничениями в развитии. Выявлено, что при переходе от глобализации к локализации полупроводниковых производств и стремлении к технологическому суверенитету в сегменте по-лупроводниковой литографии страны реализуют два основных подхода: воссоздание традицион-ной технологии фотолитографии и разработку собственных альтернативных методов. Сделан вывод, что такая тенденция в ближайшие годы может привести к перераспределению долей между старыми и новыми производителями оборудования и изменению структуры технологий на рынке полупроводниковой литографии.