СЕПАРАЦИЯ ЧАСТИЦ В ПЫЛЕВОЙ ПЛАЗМЕ В СМЕСЯХ ИНЕРТНЫХ ГАЗОВ (2023)
Выпуск:
Т. 49 № 1 (2023)
Предложен и реализован метод управления размером пылевых частиц при вариации электронной температуры посредством добавления в разряд малой доли примеси газа с низким потенциалом ионизации. Показано, что при использовании максимально разнящихся по массе инертных газов Не и Хе, размер отобранных пылевых частиц отличается вдвое. Выполнены численные оценки среднего размера отобранной частицы на основе баланса сил, действующих на пылевую частицу, с учетом влияния примеси на заряд частиц и скорость потока ионов. Метод настройки пылевой ловушки на размер удерживаемых частиц, работает в интервале порядка 1–10 мкм.