Архив статей

Определение толщины матриц ФЧЭ из антимонида индия по ИК-спектрам отражения (2019)
Выпуск: №6 (2019)
Авторы: Пермикина Елена Вячеславовна

Рассмотрен метод определения толщин тонких матриц на основе ИК-спектров отражения. Исследована статистика распределения толщины матриц ФЧЭ из антимонида индия формата 640 512 элементов с шагом 15 мкм, утоньшенных методом химико-динамической полировки. Показана динамика улучшения технологии утоньшения МФЧЭ.

Сохранить в закладках