Физические процессы в маломощном индуктивном источнике плазмы в слабом внешнем магнитном поле (2021)
Исследовано влияние внешнего магнитного поля с индукцией менее 150 Гс на картину вложения мощности в маломощный индуктивный разряд и на структуру продольных ВЧ-полей в плазме разряда. Показано, что вложение ВЧ-мощности в разрядную плазму, а также распределения амплитуды и фазы продольной компоненты магнитного ВЧ-поля вдоль оси системы немонотонно зависят от величины магнитного поля.
Издание:
Прикладная физика
Выпуск:
№ 5 (2021)