Ионно-плазменным способом в импульсном режиме с ионной стимуляцией синтезировались плёнки самоорганизованного двумерно-упорядоченного линейно-цепочечного углерода (ДУЛЦУ) толщиной 50–300 нм. В межцепочечное пространство плёнки ДУЛЦУ внедрялись атомы других элементов. Это осуществлялось путём их допирования в процессе синтеза или прямым контактным диффузионным взаимодействием. Отжиг таких систем приводит к изменению морфологических, оптических и электрофизических свойств. Внедрялись различные элементы, показаны структуры для образцов с платиной, никелем, серебром. Рассмотрены результаты исследования свойств плёнок ДУЛЦУ, интеркалированных серебром.
Показаны изменения структуры и свойств в процессе приготовления образцов: на атомном силовом микроскопе, на спектрофотометре Lambda-25, на просвечивающем электронном микроскопе. Рассмотрена электронограмма, доказывающая интеркалирование кластеров атомов серебра в плёнку ДУЛЦУ. Изменения электрических свойств показаны на примере датчика влажности, изготовленного на основе системы Ag–ДУЛЦУ–Sn.
Two-dimensionally ordered linearchain carbon (LCC) films with the thickness 50–300 nm were synthesized by pulse plasma ion assisted deposition method. Atoms of other elements were implanted in the interchain space of the LCC film. This was carried out by doping them in the process of synthesis and by direct contact diffusion interaction. Annealing of such sys-tems leads to a change in morphological, optical, and electrophysical properties. There were introduced various elements. Structures for samples with platinum, nickel, and silver were shown. The results of a research of the properties of silver-intercalated LCC are considered. Shows changes in the structure and properties during sample preparation: on an atomic power microscope, on a spectrophotometer Lambda-25, on a transmission electron micro-scope. The electron diffraction pattern, which proves the intercalation of clusters of silver at-oms into the LCC film, is considered. Changes in electrical properties are shown on the ex-ample of a humidity sensor based on the Ag–LCC–Sn system.
Идентификаторы и классификаторы
- SCI
- Физика
- eLIBRARY ID
- 43799635