ISSN 2307-4469 · EISSN 2949-5636
Языки: ru · en

Статья: Распределение электрического поля в разрядной камере при щелевом вводе СВЧ-энергии (2020)

Читать онлайн

Рассмотрены некоторые виды щелевого ввода больших значений энергии в цилиндрические и прямоугольные резонаторы. Выбран и оптимизирован ввод энергии через щелевые волноводные отверстия, расположенные на центральной окружности резонатора. Определен КСВ системы. Проведено моделирование изменения энергии электрического поля в резонаторе при смещении положения щелевого волновода. Показаны оптимальные (наилучшие для обработки плазмой СВЧ-разряда) положения объектов и волноводных щелей, а также критические положения (выбор которых может вывести генератор из строя). Рассчитано увеличение напряженности поля между двумя металлическими объектами. Получены результаты, демонстрирующие неприемлемый способ щелевого ввода энергии для решения некоторого типа задач, связанных с обработкой сложных поверхностей СВЧ-разрядом.

Some types of slot input of energy with great value into cylindrical and rectangular cavities were considered. Input of energy through slot wave guiding apertures located at the central circle of the cavity was selected and optimized. SWR of the system was determined. Simula-tion of change in the energy of the electrical field in the cavity when shifting the position of the slot wave guide was carried out. Optimum (the best for machining with SHF discharge plasma) positions of the objects and wave guide slots as well as critical positions (the choice of which can put the oscillator out of action) were shown. Growth of the field density between two metallic objects was calculated. Results demonstrating inacceptable way of slot input of energy for solving some types of problems related to machining of complex surfaces with SHF discharge were obtained.

Ключевые фразы: СВЧ-разряд, низкотемпературная плазма, математическое моделирование, щелевой волновод, microwave discharge, low temperature plasma, MATHEMATICAL MODELING, slot waveguide
Автор (ы): Бржозовский Борис Максович
Соавтор (ы): Мартынов Владимир Васильевич, Молчанов Сергей Юрьевич, Бахтеев Игорь Шамильевич, Довгань Алексей Александрович
Журнал: Успехи прикладной физики

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
533.9.07. Установки и аппаратура для изучения и создания плазмы
537.52. Электрические разряды
537.87. Распространение и излучение электромагнитных волн
621.372. Направленное распространение электромагнитных колебаний
eLIBRARY ID
43799637
Для цитирования:
БРЖОЗОВСКИЙ Б. М., МАРТЫНОВ В. В., МОЛЧАНОВ С. Ю., БАХТЕЕВ И. Ш., ДОВГАНЬ А. А. РАСПРЕДЕЛЕНИЕ ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО ПОЛЯ В РАЗРЯДНОЙ КАМЕРЕ ПРИ ЩЕЛЕВОМ ВВОДЕ СВЧ-ЭНЕРГИИ // УСПЕХИ ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИ. 2020. ТОМ 8 № 3
Текстовый фрагмент статьи