ISSN 1996-0948 · EISSN 2949-561X
Языки: ru · en

Статья: Лазерное плазмохимическое травление материалов электронной техники на примере алмаза и сапфира (2021)

Читать онлайн

В работе рассмотрены вопросы лазерного плазмохимического травления материалов электронной техники на примере разделения пластин алмаза и сапфира на кристаллы. В основе разработанного метода лежит физическое явление – оптический пробой в специально подобранных газовых средах, в которых поджигается плазма и производится плазмохимическое травление материалов подложек (пластин) с образованием летучих продуктов химических реакций и их эвакуацией с помощью вакуумной системы. Работы проводились в диапазоне рабочих давлений 110-3–110-1 Торр. В качестве рабочих сред использовались фторидные системы: (SF6 + O2; CClF3 + O2; F2 и т. д.), чистый кислород (О2) и водород (Н2). Обе системы – фторидная и кислородная «работают» хорошо для алмаза. Водородная система предпочтительна для сапфира.

The work addresses the issues of laser plasma etching of electronic materials on the example of the separation of diamond and sapphire plates into crystals. The developed method is based on a physical phenomenon – an optical breakdown in specially selected gas environments in which plasma is set on fire and plasma etching of sub-base materials (plates) with the formation of volatile products of chemical reactions and their evacuation by vacuum system.

The work was carried out in the range of working pressures of 110-3–110-1 Torr. Fluoride systems were used as work environments: (SF6/O2; CClF3/O2; F2, etc.) and pure oxygen (O2). Both the system – fluoride and oxygen “work” well. The oxygen system is preferable for eco-nomic and environmental reasons.

Ключевые фразы: лазер, плазма, КРИСТАЛЛЫ, пластина, плазмохимия, травление, laser, plasma, crystals, plate, plasma chemical, etching
Автор (ы): Кондратенко Владимир Степанович
Соавтор (ы): Мальцев Петр Павлович, Редькин Сергей Викторович
Журнал: Прикладная физика

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
533. Механика газов. Аэродинамика. Физика плазмы
53.02. Общие законы физических явлений
53.04. Действия явлений, эффекты
53.06. Использование явлений в практических целях
Префикс DOI
10.51368/1996-0948-2021-1-12-16
eLIBRARY ID
44833476
Для цитирования:
КОНДРАТЕНКО В. С., МАЛЬЦЕВ П. П., РЕДЬКИН С. В. ЛАЗЕРНОЕ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ МАТЕРИАЛОВ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ НА ПРИМЕРЕ АЛМАЗА И САПФИРА // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2021. № 1
Текстовый фрагмент статьи