ISSN 1996-0948 · EISSN 2949-561X
Языки: ru · en

Статья: Исследование влияния режимов осаждения пленок алмазоподобного углерода на их физико-механические характеристики (2021)

Читать онлайн

Представлены результаты отработки режимов осаждения пленок алмазоподобного углерода на поверхность подложек из нержавеющей стали при разных параметрах процесса, проведена количественная оценка содержания sp3-связей и физико-механических характеристик полученных покрытий, сформулирован вывод о влиянии технологических параметров процесса осаждения на данные характеристики.

The paper presents the results of testing the technology of deposition of diamond-like carbon films on the surface of stainless steel substrates at different process parameters, a quantitative assessment of the sp3 bond content and the physical and mechanical characteristics of the coatings obtained, a conclusion about the influence of the deposition process technological parameters on these characteristics is formulated.

Ключевые фразы: импульсное вакуумно-дуговое испарение, плёнки алмазоподобного углерода, DLC, интегральные схемы, pulsed vacuum arc evaporation, DLC films, integrated circuits
Соавтор (ы): Жидик Юрий, Ручкин Сергей Евгеньевич, Юрьева Алена Викторовна, Полосухина Мария Ивановна
Журнал: Прикладная физика

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
Префикс DOI
10.51368/1996-0948-2021-6-58-62
eLIBRARY ID
47365523
Для цитирования:
ЖИДИК Ю., РУЧКИН С. Е., ЮРЬЕВА А. В., ПОЛОСУХИНА М. И. ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ РЕЖИМОВ ОСАЖДЕНИЯ ПЛЕНОК АЛМАЗОПОДОБНОГО УГЛЕРОДА НА ИХ ФИЗИКО-МЕХАНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2021. № 6
Текстовый фрагмент статьи