ISSN 1996-0948 · EISSN 2949-561X
Языки: ru · en

Статья: Синтез покрытий со структурой перовскита в магнетронном разряде с мишенями из кальция и титана (2024)

Читать онлайн

Представлены результаты экспериментальных исследований плазменного осаждения покрытий типа перовскит (CaTiO3) с использованием двух планарных магнетронов. В экспериментах использовались чистые (99,9 %) распыляемые мишени из титана и кальция. Независимое электрическое питание каждого магнетронного разряда осуществлялось как постоянным, так и импульсным (10–20 кГц) напряжением. Осаждение покрытий происходило в смеси аргона и кислорода. Анализ полученных покрытий производился методами сканирующей электронной микроскопии и рентгено-фазового анализа.

The results of experimental studies on perovskite-type (CaTiO3) coatings plasma deposition using two planar magnetrons are presented. Pure (99.9 %) sputtering targets made of titanium and calcium were used in the experiments. The coatings were deposited in a mixture of argon and oxygen. Each magnetron discharge was independently powered by both DC and pulsed (10–20 kHz) voltages. The resulting coatings were annealed and analyzed by scanning electron microscopy and X-ray phase analysis.

Ключевые фразы: магнетронный разряд, осаждение покрытий, титанат кальция
Автор (ы): Шандриков Максим Валентинович
Соавтор (ы): Хомутова Ульяна Викторовна, Черкасов Александр Алексеевич, Окс Ефим
Журнал: Прикладная физика

Идентификаторы и классификаторы

УДК
537.525.2. Разряды на остриях и краях поверхности
537.525.3. Коронный разряд
Префикс DOI
10.51368/1996-0948-2024-6-35-39
Для цитирования:
ШАНДРИКОВ М. В., ХОМУТОВА У. В., ЧЕРКАСОВ А. А., ОКС Е. СИНТЕЗ ПОКРЫТИЙ СО СТРУКТУРОЙ ПЕРОВСКИТА В МАГНЕТРОННОМ РАЗРЯДЕ С МИШЕНЯМИ ИЗ КАЛЬЦИЯ И ТИТАНА // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2024. №6
Текстовый фрагмент статьи