ISSN 1996-0948 · EISSN 2949-561X
Языки: ru · en

Статья: Структура и оптические свойства тонкоплёночных многослойных зеркальных покрытий на основе пары Ta2O5/SiO2, полученных методом ионного распыления (2024)

Читать онлайн

Применение оптических покрытий на основе многослойных диэлектрических зеркал в настоящий момент представляет существенный интерес для создания радиационностойкой зеркальной оптики. Апробировано применение метода распыления ионным пучком для создания ИК-зеркала на основе пары Ta2O5/SiO2, нанесенного на подложку из плавленого кварца. Полученные образцы были изучены с помощью спектрофотомерии в видимом и ИК-диапазонах, рентгеновской рефлектрометрии и дифракции. Примененный метод позволил получать аморфные слои Ta2O5 и SiO2. Для достигнутых толщин и плотностей покрытий коэффициент отражения в ближнем ИК превышал 99,9 %. Показано, что использованная комплексная методика может быть полезна не только для исследования структуры и состава подобных покрытий, но и для индикации отклонения формы образцов, например, вследствие растягивающих механических напряжений.

The use of mirror optics based on multilayer dielectric coatings is currently of significant interest for the design of radiation hardened optics. In this work, we tested the ion beam sputtering method to deposit an IR mirror based on the Ta2O5/SiO2 pair on a fused quartz substrate. The obtained samples were studied with spectrophotometry in the visible and IR ranges, X-ray reflectometry and diffraction. As a result, it was shown that the applied method made it possible to obtain amorphous layers of Ta2O5 and SiO2. For the achieved coating thicknesses and densities, the near-IR reflectance exceeded 99.9 %. In general, the results demonstrated that
the complex diagnostic technique used can be useful not only for studying the structure and composition of such coatings, but also for indicating deviations in the shape of samples, for
example, due to tensile mechanical stresses.

Ключевые фразы: диэлектрические тонкие плёнки, ИОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ, просветляющие и зеркальные покрытия
Автор (ы): Пушкин Дмитрий Борисович
Соавтор (ы): Скрябин Андрей Станиславович, Жупанов Валерий Григорьевич, Турьянский Александр Георгиевич, Сенков Вячеслав Маркович
Журнал: Прикладная физика

Идентификаторы и классификаторы

УДК
621.039.3. Разделение изотопов
621.039.322. Химический обмен. Каталитический обмен. Обменная дистилляция
621.039.322.2. Реакция обмена в газовой фазе, включая методы, в которых химический обмен используется в сочетании с термодиффузией
Префикс DOI
10.51368/1996-0948-2024-6-68-73
Для цитирования:
ПУШКИН Д. Б., СКРЯБИН А. С., ЖУПАНОВ В. Г., ТУРЬЯНСКИЙ А. Г., СЕНКОВ В. М. СТРУКТУРА И ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ТОНКОПЛЁНОЧНЫХ МНОГОСЛОЙНЫХ ЗЕРКАЛЬНЫХ ПОКРЫТИЙ НА ОСНОВЕ ПАРЫ TA2O5/SIO2, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ ИОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2024. №6
Текстовый фрагмент статьи