ISSN 1996-0948 · EISSN 2949-561X
Языки: ru · en

Статья: Исследование тонкопленочных резисторов на основе нитрида тантала, полученных методом реактивного магнетронного распыления, для устройств радиофотоники (2021)

Читать онлайн

Исследованы электрофизические характеристики и их термическая стабильность тонкопленочных резисторов на основе нитрида тантала (TaN), полученных методом реактивного магнетронного распыления. Определены оптимальные режимы процесса магнетронного распыления, обеспечивающие получение пленок фазового состава Ta2N со значением удельного электрического сопротивления 250 мкОм см и высокой термической стабильностью параметров. При использовании полученных результатов были изготовлены согласующие тонкопленочные резисторы для электрооптического модулятора Маха-Цендера на основе InP.

Electrophysical characteristics and their thermal stability of thin-film resistors based on tanta-lum nitride (TaN) obtained by reactive magnetron sputtering were investigated. The optimal modes of the magnetron sputtering process are determined, ensuring the Ta2N phase film composition with the value of the specific electrical resistance of 250 μm cm and high thermal stability of the parameters. On the basis of the investigations carried out, thin-film matching resistors were manufactured for use as part of an electro-optical InP-based MZ modulator.

Ключевые фразы: магнетронное распыление, тонкие плёнки, резистор, нитрид тантала, электрооптический модулятор, радиофотоника, magnetron sputtering, thin films, thin film resistor, tantalum nitride, electro-optical modulator, microwave photonics
Автор (ы): Ерофеев Евгений Викторович
Соавтор (ы): Полынцев Егор Сергеевич, Ишуткин Сергей Владимирович
Журнал: Прикладная физика

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
539.231. механическим путем, например напылением
Префикс DOI
10.51368/1996-0948-2021-5-93-98
eLIBRARY ID
47161073
Для цитирования:
ЕРОФЕЕВ Е. В., ПОЛЫНЦЕВ Е. С., ИШУТКИН С. В. ИССЛЕДОВАНИЕ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ РЕЗИСТОРОВ НА ОСНОВЕ НИТРИДА ТАНТАЛА, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ РЕАКТИВНОГО МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ, ДЛЯ УСТРОЙСТВ РАДИОФОТОНИКИ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2021. № 5
Текстовый фрагмент статьи