Расчет коэффициентов распыления оксидных пленок с поверхности однородного материала ионами гелия средних энергий (2021)
Представлена аналитическая модель распыления двухкомпонентных слоистых неоднородных мишеней бомбардировкой легкими ионами. Получена аналитическая формула, позволяющая рассчитать полный и парциальный коэффициенты распыления бинарного слоя неоднородности мишени легкими ионами. Результаты расчетов хорошо согласуются с данными компьютерного моделирования.
Издание:
Прикладная физика
Выпуск:
№ 4 (2021)
Распыление карбидных пленок с поверхности титана и вольфрама ионами гелия средних энергий (2022)
Аналитическая модель распыления бинарных слоистых неоднородных мишеней применена к случаю распыления пленок карбида металла с поверхности металла ионами гелия. На основе модели получена аналитическая формула, позволяющая рассчитать полный и парциальные коэффициенты распыления неоднородных мишеней легкими ионами. Результаты расчетов полных коэффициентов распыления пленок карбидов титана и вольфрама с поверхности металлов ионами гелия приведены в сравнении с результатами компьютерного моделирования.
Издание:
Прикладная физика
Выпуск:
№ 3 (2022)