Результаты поиска: 1 док. (сбросить фильтры)
Статья: Исследование магнитной ловушки для магнетронной распылительной системы
Приведены результаты компьютерного и лабораторного моделирования магнитной распылительной системы (МРС), используемой для физического осаждения пленок в вакууме. Приведены рекомендации по выбору геометрических параметров МРС и значениям магнитного поля.