Статья: ЭЛЕКТРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ КАК НАИБОЛЕЕ
ИНОВАЦИОННЫЙ МЕТОД ЛИТОГРАФИИ
В статье говорится о существующих современных методах
литографии. Описаны общие шаги процесса литографии в
полупроводниковом производстве. Рассмотрены тенденции развития
полупроводниковой промышленности в целом.
Произведен анализ методов литографии на основе информации о
современной полупроводниковой промышленности, и выбран наиболее
инновационный метод литографии: электронная лучевая литография, – как
метод, позволяющий повысить технологически уровень полупроводниковой
промышленности
Формат документа:
pdf
Кол-во страниц:
7 страниц
Владелец:
Старцев Вадим
Доступ:
Всем