Книга: ОБЩАЯ ЭЛЕКТРОТЕХНИКА И ЭЛЕКТРОНИКА
Учебное пособие для бакалавров
Пособие в первую очередь предназначено бакалаврам, обучающимся по направлению подготовки 23.03.01 «Технология транспортных процессов», для методического обеспечения учебного процесса по курсу «Общая электротехника и электроника». Оно также может быть полезным и для студентов других направлений подготовки, в учебных планах которых содержатся такие дисциплины, как «Электротехника», «Радиотехника», «Электроника».
Владелец:
Афонин Сергей
Доступ:
Всем
Статья: ЭЛЕКТРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ КАК НАИБОЛЕЕ
ИНОВАЦИОННЫЙ МЕТОД ЛИТОГРАФИИ
В статье говорится о существующих современных методах
литографии. Описаны общие шаги процесса литографии в
полупроводниковом производстве. Рассмотрены тенденции развития
полупроводниковой промышленности в целом.
Произведен анализ методов литографии на основе информации о
современной полупроводниковой промышленности, и выбран наиболее
инновационный метод литографии: электронная лучевая литография, – как
метод, позволяющий повысить технологически уровень полупроводниковой
промышленности
Формат документа:
pdf
Кол-во страниц:
7 страниц
Владелец:
Старцев Вадим
Доступ:
Всем