Влияние температуры подложки на параметры пленок оксида алюминия при электронно-лучевом испарении алюминия в атмосфере кислорода (2024)
Приведены экспериментальные результаты измерения параметров пленок оксида алюминия, осажденных электронно-лучевым испарением алюминия в кислороде при разных температурах подложки. Показано, что характер влияния температуры определяется соотношением давления кислорода и скорости осаждения пленки.
Издание:
ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА
Выпуск:
№ 1 (2024)
Травление внутренней поверхности металлической трубки в разряде, поддерживаемым электронным пучком (2023)
Приведены экспериментальные результаты измерения скорости травления внутрен-ней стенки металлической трубки при наличии в трубке разряда, поддерживаемого инжектируемым электронным пучком. При токах разряда 50–200 мА скорость трав-ления повышается в интервале 10–30 нм/мин.
Издание:
ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА
Выпуск:
№ 6 (2023)