Исследование влияния режимов осаждения пленок алмазоподобного углерода на их физико-механические характеристики (2021)
Представлены результаты отработки режимов осаждения пленок алмазоподобного углерода на поверхность подложек из нержавеющей стали при разных параметрах процесса, проведена количественная оценка содержания sp3-связей и физико-механических характеристик полученных покрытий, сформулирован вывод о влиянии технологических параметров процесса осаждения на данные характеристики.
Издание:
Прикладная физика
Выпуск:
№ 6 (2021)